1、管道材料特性:对输送保定高纯气体豆传媒剧mv入口在线看|麻花传剧在线mv看入口|传媒剧在线mv入口|91传剧原创mv在线观看|9传媒剧在线mv在线看|传媒剧在线mv入口网页管道工程而言,其影响气体质量的管道材料,主要特性是气体渗透性、出气速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蚀性。抗腐蚀性:微电子生产中,经常使用一些腐蚀性很强的气体,这时需采用耐腐蚀的管材,否则管道会被腐蚀,轻则表面产生锈斑,重则管道大面积剥落、穿孔,不但污染气体,还会发生安全事故。
2、出气速率:材料冶炼过程形成的管道材料晶间,或者晶格内部存在着某些杂质,如氮、碳氢化合物等,在高纯气体输送过程中,这些杂质会缓慢地释放出来,污染高纯气体,尤其是杂质要求在ppb以上级的高纯气体。通常低碳不锈钢管的出气速率极低。
3、吸附性:由于水分等杂质是极性分子,吸附性很强。橡胶、塑料或一些表面粗糙的材料极易吸附水分等杂质,铜材对水吸附性极强,使用这些材料输送高纯气体易被污染,除了输送ppm级以下的氧气会使用紫铜管外,高纯气体都不采用铜管和塑料管,气体会接触到的垫片、填料也不得采用橡胶、塑料材料,包括聚四氟乙烯。
4、表面粗糙度和耐磨性:为了确保输送的气体纯净度,要求管道材料内表面有一个极高的光洁度,这样可以防止污染粒子及湿气在管壁滞留,可以在吹扫时比较容易吹净。管材比较光洁而且耐磨,可以在气流高速冲刷下,产生的金属粒子就少,不锈钢比铜管产生粒子要少,所以不锈钢管耐磨性优于钢管。
5、气体渗透性:气体从压力高的一侧透过材料向压力低的一侧流入的现象成为气体渗透。因为空气中氧气和氮气分压力大、气体分子相对较小,管道材料对气体的渗透性主要表现氧气和氮气的渗透,一般对氧气的渗透测试比较多。
6、内表面处理:为了进一步改善管道材料特性,对管道内表面进行处理,一般有三种方法:酸洗钝化(AP),光亮退火(BA)和电解抛光(EP)处理。试验资料和实践都证明,通过表面处理后。管道材料的粗糙度减小。出气速率降低。表面吸附性减弱。