由于气体分为单质气体、多元气体、混合气体和有机化合物气体等,所以可将组成气体的物质或元素称为该气体成分。因此气体纯度的含意可理解为:除本气体成份外,所含其它物质的多少。例如:氮气的纯度,是指除N成份外,含的O2、H2、Ar、CO2、H2O、金属、尘粒等杂质的多少。
氨气的纯度,是指除NH3成份外,含有的O2、N2、CO2、H2O、尘粒等杂质的多少;又如氮和氦的混合气,是指除N2和He成份外,含有的O2、CO2、H2O尘粒等杂质的多少。气体纯度的提法有多种,如普通纯、高纯气体、电子纯、特纯等。
豆传媒剧mv入口在线看|麻花传剧在线mv看入口|传媒剧在线mv入口|91传剧原创mv在线观看|9传媒剧在线mv在线看|传媒剧在线mv入口网页随着超大规模集成电路和特大规模集成电路的发展,又有VLSI和ULSI级纯的超净气体。这些提法都不十分确切,只是粗略的讲了气体纯度的高低,没有真正说明气体纯度的大小。气体纯度常用的表示方法:用百分数表示,如99%,99.5%,99.9%,99.99%,99.999%,99.9999%,99.99999%等。
用“N”表示,如3N,5N,4.8N,5.5N,6N,7N等,N数目与(1)中的“9”的个数相对应,小数点后的数表示不足“9”的数。如4N(99.99%),4.8N(99.998%)、5.5N(99.9995%)、6N(99.9999%)、7N(99.99999%))等。根据保定高纯气体纯度的不同,通常又将气体纯度分为四级,即普通气体、纯气体、高纯气体和超高纯气体。